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      當前位置:首頁   >  產(chǎn)品中心  >  DUKE標準粒子  >  均勻尺度聚合物粒子  >  SURF-CALDuke PD1100 SURF-CAL 尺度標準微粒

      Duke PD1100 SURF-CAL 尺度標準微粒

      簡要描述:NIST溯源尺度標準,用于需要高度視覺反差的尺度標和參考應(yīng)用領(lǐng)域。SUR-CAL 為各種硅晶片的表面性狀的檢測和標提供了便利的工具。產(chǎn)品的粒徑復合儀器廠家所需的各種規(guī)格。

      • 產(chǎn)品型號:SURF-CAL
      • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
      • 更新時間:2017-06-12
      • 訪  問  量:2055

      詳細介紹

      Duke PD1100 SURF-CAL 尺度標準微粒

      NIST溯源尺度標準,用于需要高度視覺反差的尺度標和參考應(yīng)用領(lǐng)域。SUR-CAL 為各種硅晶片的表面性狀的檢測和標提供了便利的工具。產(chǎn)品的粒徑復合儀器廠家所需的各種規(guī)格。SURF-CAL系列產(chǎn)品完符合SEMI行業(yè)協(xié)會的建立的SSIS標指導準則, 微粒粒徑縱貫0.047到3.0微米的范圍, 覆蓋了半導體技術(shù)藍圖(ITRS)所義的關(guān)鍵質(zhì)控點。通過將SUR-CAL聚苯乙烯乳膠微粒沉積在特的硅晶片(PSL)表面,用戶以對掃描儀進行周期性標,并與其它的掃描儀進行對比。 用戶還以對生產(chǎn)環(huán)節(jié)中關(guān)鍵階段SSIS的性能做出評估。產(chǎn)品包裝為50ml,微粒分散于超凈過濾去離子水中,微粒濃度 3 x 108 / ml。PD1100(粒徑1.112 μm)和小于這一粒徑的產(chǎn)品還提供1010 /ml 的產(chǎn)品包裝規(guī)格以滿足需要使用差別移動粒子分析儀(DMA)和其它尺寸排除技術(shù)粒子分析儀器的客戶需求。

       

      尺度測量方法學:

      為了確保與NIST的直接溯源性,產(chǎn)品的粒徑是直接從NIST提供的標準參考微粒通過電子顯微鏡或光學顯微鏡的測量中直接轉(zhuǎn)化而成的。尺度的不確性是依照NIST技術(shù)筆記1297方法(1994年版“NIST測量結(jié)果不確性評估指導方案”)計算得到的。產(chǎn)品中所描述的不確性為擴大性不確因素,覆蓋因子數(shù)為2 (K=2)。

       

      微粒組成:

      聚苯乙烯

      微粒密度

      1.05g/cm3

      微粒數(shù)量:

      3 x 108 or 1010顆/毫升

      包裝規(guī)格:

      50ml瓶裝,每盒6瓶

      微粒折射率:

      1.59 @ 589 nm (25°C)

      添加劑:

      產(chǎn)品保質(zhì)期:

      ≥2年

      存儲條件:

      冰箱儲藏(冰點以上)防止冰凍,緊閉瓶蓋防止污染

      包裝內(nèi)容

      標與溯源證書、粒子計數(shù)擬程序、原料安數(shù)據(jù)表(MSDS)

       

      Catalog Number
      (particles per mL)

      Certified
      Peak
      Diameter

      Expanded
      Uncertainty
      (of peak diameter)

      Sie Distribution

      3 x 108

      1010

       

       

      Std. Dev.

      C.V.%

      FWHM% *

      PD-047

      PD-047B

      0.047 µm

      0.002 µm

      0.004 µm

      7.5%

      17.4%

      PD-064

      PD-064B

      0.064 µm

      0.002 µm

      0.003 µm

      5.4%

      10.9%

      PD-083

      PD-083B

      0.083 µm

      0.002 µm

      0.004 µm

      4.2%

      9.6%

      PD-092

      PD-092B

      0.092 µm

      0.005 µm

      0.004 µm

      4.6%

      9.1%

      PD-100

      PD-100B

      0.100 µm

      0.005 µm

      0.004 µm

      2.6%

      5.2%

      PD-125

      PD-125B

      0.126 µm

      0.006 µm

      0.003 µm

      2.4%

      4.8%

      PD-155

      PD-155B

      0.155 µm

      0.003 µm

      0.003 µm

      1.6%

      3.7%

      PD-200

      PD-200B

      0.202 µm

      0.005 µm

      0.004 µm

      1.8%

      4.0%

      PD-204

      PD-204B

      0.204 µm

      0.008 µm

      0.004 µm

      1.8%

      3.7%

      PD-215

      PD-215B

      0.220 µm

      0.007 µm

      0.003 µm

      1.6%

      3.3%

      PD-305

      PD-305B

      0.304 µm

      0.005 µm

      0.004 µm

      1.4%

      3.4%

      PD-365

      PD-365B

      0.360 µm

      0.013 µm

      0.010 µm

      2.0%

      5.0%

      PD-500

      PD-500B

      0.498 µm

      0.010 µm

      0.006 µm

      1.1%

      2.5%

      PD-800

      PD-800B

      0.809 µm

      0.014 µm

      0.006 µm

      0.8%

      1.8%

      PD-802

      PD-802B

      0.802 µm

      0.011 µm

      0.009 µm

      1.1%

      2.4%

      PD1100

      PD1100B

      1.112 µm

      0.018 µm

      0.011 µm

      1.0%

      2.5%

      PD1600

       

      1.59 µm

      0.02 µm

      0.016 µm

      1.0%

      2.6%

      PD2000

       

      2.01 µm

      0.04 µm

      0.019 µm

      1.0%

      3.3%

      PD3000

       

      3.04 µm

      0.06 µm

      0.026 µm

      0.9%

      2.7%

       

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